上海新陽：公司開發(fā)的晶圓制造用化學(xué)機(jī)械研磨液主要包括適用于淺槽隔離研磨液、金屬鎢研磨液等系列產(chǎn)品

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問：請問公司是否有拋光液產(chǎn)品？如沒有，后續(xù)是否考慮在此方向布局？

上海新陽（300236.SZ）7月11日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司開發(fā)的晶圓制造用化學(xué)機(jī)械研磨液主要包括適用于淺槽隔離研磨液（STI Slurry）、金屬鎢研磨液（W Slurry）、金屬銅研磨液（Cu Slurry）、硅氧化層研磨液（Oxide Slurry），多晶硅層研磨液（Poly Slurry）等系列產(chǎn)品，可覆蓋 14nm 及以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)。

（記者 王曉波）

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