英杰電氣：射頻電源和濺射電源是公司近年來重點(diǎn)研發(fā)產(chǎn)品，屬于進(jìn)口替代產(chǎn)品

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-07-04 16:58:20

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：董秘好！就是看我們在SEMICON期間展示了半導(dǎo)體制程用射頻電源、濺射電源，這類型電源可以用在離子注入機(jī)和刻蝕設(shè)備上嗎？這些產(chǎn)品是否已經(jīng)在下游設(shè)備廠商處獲得認(rèn)證？預(yù)計(jì)今年能獲得征是訂單或者產(chǎn)生收入嗎

英杰電氣（300820.SZ）7月4日在投資者互動平臺表示，射頻電源和濺射電源是公司近年來重點(diǎn)研發(fā)產(chǎn)品，屬于進(jìn)口替代產(chǎn)品，目前還在做樣機(jī)測試，已進(jìn)入測試的后期階段，從測試情況看，這類電源已經(jīng)初步具備國產(chǎn)化替代能力。何時批量采購取決于客戶后期采購安排，目前還存在不確定性

(記者蔡鼎)

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