每日經濟新聞 2023-03-08 16:32:00
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問公司有有哪些產品應用于集成電路制造？
三孚股份（603938.SH）3月8日在投資者互動平臺表示，公司產品電子級二氯二氫硅、電子級三氯氫硅和電子級四氯化硅，均為電子特氣。 電子級三氯氫硅主要應用于硅外延片及碳化硅行業。 電子級二氯二氫硅主要應用于邏輯芯片和存儲芯片及硅基前驅體等領域。 電子級四氯化硅主要用于薄膜沉積與蝕刻工藝，隨著半導體制程的先進化，電子級四氯化硅被廣泛使用于邏輯芯片與存儲芯片的蝕刻工藝流程。
(記者 王瀚黎)
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