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          中微公司:公司開發的刻蝕設備能夠覆蓋諸多工藝的制程要求

          每日經濟新聞 2023-11-24 16:51:42

          每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:貴司刻蝕設備能否滿足先進制程邏輯芯片7nm所有需求嗎?或者能覆蓋多少?

          中微公司(688012.SH)11月24日在投資者互動平臺表示,公司開發的刻蝕設備能夠覆蓋諸多工藝的制程要求。公司的等離子體刻蝕設備已應用在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及更先進的集成電路加工制造生產線及先進封裝生產線。

          (記者 畢陸名)

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