固高科技：短期內，公司相關部件、系統在半導體前道設備中相關業務對企業整體營收影響有限

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：董秘你好，公司2023年上半年已經取得一種光刻機運動軌跡規劃方法的專利，是否未來可以用于光刻機上？謝謝

固高科技（301510.SZ）9月12日在投資者互動平臺表示，公司長期專注于運動控制及智能制造的核心技術研發，面向以半導體精密加工裝備、工業機器人、數控機床為代表的高端設備領域形成了運動控制、伺服驅動、多維感知、工業現場網絡、工業軟件等自主可控的技術、產品體系。 具體在半導體設備領域，公司的部件、系統類產品在芯片后道封裝設備中已有一定應用部署量；在以光刻、蝕刻、清洗為代表的半導體前道設備內所需的控制、伺服等技術、產品，公司也一直在持續研發迭代技術與產品，并積極拓展相關應用場景。 整體來看，公司認為未來五到十年是半導體前道設備國產化機遇期，也是其中伺服控制部件、系統等產品的重要機遇期，企業將持續迭代、完善技術與產品，完成產業化能力建設，服務行業。短期內，公司相關部件、系統在半導體前道設備中相關業務對企業整體營收影響有限，請投資者謹慎關注。

(記者 尹華祿)

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